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447 完美的闭环(第1页)

等林本建出来,三人边吃边聊,卫向东正式向林本建发出邀请,希望他到大陆继续研究紫外光(EUV)光刻,将来在众芯科技专门成立一个部门由他负责,同样可以给予众芯科技的股份。

“林先生,如果你还有什么要求,我们都可以谈。”卫向东的态度很诚恳。

林本建沉默了下开口说道:“卫先生,或许你不清楚,研发13.4纳米的极紫外光(EUV)遥不可及而且耗费巨大,现在光刻机还卡在193纳米这个这个阶段。”

“我知道,极紫外光(EUV)是光刻机发展的未来,而193纳米这道坎终将会被迈过。”卫向东笑回答道。

林本建听了笑了起来:“卫先生,你是个局外人,竟然比我们这些局内人还充满自信?”

“或许正是因为我是个局外人,所以和你看问题角度不同,光刻机停留在193纳米已经好几年了吧?所谓厚积薄发该到突破的时候。不是有一种叫什么浸润式光刻吗?我看那个法子就行。”卫向东说道。

“浸润式光刻?卫先生你也认为浸润式可行?!”林本建的声音突然变得激动起来。

不是我认为行,是因为历史最后证明这个法子行!

卫向东实在不明白这个林本建为何如此激动,旁边的张如京才告诉他,在8o年代末期,林本建就提出随着芯片精度越来越高,光刻机的精度最终会遇到瓶颈,可以用浸润式原理解决这个问题。

不过当时业界正要准备1ooo纳米的量产,后来林本建又帮IB

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